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2500℃燒結爐 3000℃石墨化爐 3200℃超高溫石墨化爐

化學氣相沉積爐

產品介紹
主要功能
技術參數

臥式化學氣相沉積爐主要用于以碳氫氣體（如C3H8、CH4等）為碳源的材料表面或基體的CVD/CVI處理

高溫氣相沉積設備主要用于關鍵器件表面涂層的制備，而溫度是影響氣相沉積涂層質量的關鍵參數，目前常規氣相沉積設備的使用溫度最高只有2000℃，本項目開發的氣相沉積設備使用溫度可達到2500℃

型號	功率	溫度
Φ300*600	100KW	2500℃
Φ500*1000	200KW	2500℃
Φ800*2000	400KW	2500℃
Φ1500*2500	1000KW	2500℃

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