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        碳化硅和氮化鎵的專利井噴,第三代半導體產(chǎn)業(yè)進階!

        時間:2025-04-02   來源:集邦半導體觀察    人氣:2189

                近日,碳化硅和氮化鎵領域頻傳專利突破喜訊,多家企業(yè)和研究機構取得關鍵進展,為半導體行業(yè)的發(fā)展注入新動力。

                這些專利成果聚焦于器件制造以及應用拓展等核心環(huán)節(jié),有望推動相關技術的產(chǎn)業(yè)化應用,提升產(chǎn)業(yè)競爭力。


        碳化硅晶體的生長工藝及應用專利

               3月20日,江蘇天科合達半導體有限公司申請一項名為“一種碳化硅晶體的生長工藝及應用”的專利(公開號CN 119640393 A,申請日期為2024年12月)。

        專利摘要顯示,該發(fā)明采用石墨隔板將坩堝內(nèi)部分隔為7個裝料區(qū)域,裝填特定粒徑的碳化硅粉料,再用PVT法進行碳化硅晶體的生長。通過優(yōu)化裝料工藝,可提升粉料在生長過程中升華氣體的均勻性和利用率,有助于爐內(nèi)溫場的穩(wěn)定,降低晶體相變發(fā)生的概率,減少晶體缺陷,從而提升晶體質(zhì)量。

        九峰山實驗室氮化鎵技術突破

                3月24日,九峰山實驗室科研團隊取得重大突破,成功在全球范圍內(nèi)首次實現(xiàn)了8英寸硅基氮極性氮化鎵(N-polar GaNOI)高電子遷移率材料的制備。

        這一成果打破國際技術壟斷,采用硅基襯底,兼容8英寸主流半導體產(chǎn)線設備,集成硅基CMOS工藝,降低生產(chǎn)成本。材料性能顯著提升,兼具高電子遷移率和優(yōu)異的可靠性,鍵合界面良率超過99%,為大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化奠定基礎。氮極性氮化鎵材料在高頻段表現(xiàn)出色,適用于5G/6G通信、衛(wèi)星通信、雷達系統(tǒng)等領域,未來有望推動多個高科技領域發(fā)展。


        大尺寸硅基的氮化鎵外延器件及生長方法專利

                3月22日,國家知識產(chǎn)權局信息表明,福州鎵谷半導體有限公司申請了“一種大尺寸硅基的氮化鎵外延器件及生長方法”的專利(公開號CN 119653841 A,申請日期為2024年12月)。

        通過設置應力釋放層,該發(fā)明可緩解緩沖層過厚產(chǎn)生的過高應力,制作更厚緩沖層提升器件耐壓能力,同時使緩沖層缺陷和位錯湮滅,提升結晶質(zhì)量,得到更平整器件表面利于芯片制作。

        source:國家知識產(chǎn)權局

        氮化鎵基半導體激光器元件專利

               3月22日,安徽格恩半導體有限公司申請“一種氮化鎵基半導體激光器元件”的專利(公開號CN 119651346 A,申請日期為2024年12月)。

        該發(fā)明通過在特定結構中設置電流誘導自旋極化層,利用菲利普電離度特性,使激光器在注入電流時產(chǎn)生自旋極化效應,中和內(nèi)部極化場,減少量子限制stark效應,降低電子泄漏和載流子去局域化,提升峰值增益和光功率。

        比亞迪1500V車規(guī)級碳化硅(SiC)功率芯片亮相

               比亞迪集團執(zhí)行副總裁廉玉波于3月17日正式宣布,比亞迪自主研發(fā)的全新一代1500V車規(guī)級碳化硅(SiC)功率芯片誕生,這是行業(yè)內(nèi)首次實現(xiàn)量產(chǎn)應用的最高電壓等級車規(guī)級SiC功率芯片。

        該芯片是比亞迪超級e平臺的核心組成部分,支持兆瓦級快速充電,配合全域千伏高壓架構,可實現(xiàn)“油電同速”的超快充體驗,如漢L車型能達到充電5分鐘續(xù)航400公里。此芯片的研發(fā)成功,體現(xiàn)了比亞迪在碳化硅功率芯片領域的技術實力,也為新能源汽車的性能提升提供了關鍵支撐。

        source:比亞迪

        集成充電和逆變雙向電源的氮化鎵充電器散熱結構專利

        3月21日,浙江綠源電動車有限公司取得“一種集成充電和逆變雙向電源的氮化鎵充電器散熱結構”的專利(授權公告號CN 222638962 U,申請日期為2024年6月)。通過將氮化鎵電路板組件安裝在充電器散熱框架的散熱空間內(nèi),有效提升了氮化鎵充電器的散熱性能。


        前驅體封裝容器及氣相沉積系統(tǒng)專利

               江蘇第三代半導體研究院有限公司于2025年3月取得一項名為“一種前驅體封裝容器及氣相沉積系統(tǒng)”的專利,授權公告號CN 222648108 U,申請日期為2024年6月。專利摘要顯示,該前驅體封裝容器包括第一腔體,第二腔體,緩沖腔體,通斷控制組件和充抽組件。該專利的設計能夠有效延長封裝容器的使用時限,對于提高生產(chǎn)效率、降低成本具有重要意義。


        結語

                碳化硅和氮化鎵作為第三代寬禁帶半導體材料,具有高擊穿場強、高飽和電子漂移速率、高熱導率等優(yōu)良特性,在電動汽車、5G通訊、新能源等領域應用潛力巨大。此次一系列專利突破,將有助于解決行業(yè)長期面臨的材料制備難題,推動相關產(chǎn)品性能提升和成本下降,加速產(chǎn)業(yè)化進程。

              業(yè)內(nèi)人士認為,隨著這些專利技術的逐步落地應用,碳化硅和氮化鎵產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)將迎來新的發(fā)展機遇,有望帶動整個半導體行業(yè)的技術升級和產(chǎn)業(yè)變革,為經(jīng)濟社會的高質(zhì)量發(fā)展提供強有力的技術支撐。

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