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2300℃高真空電阻爐專門設計應用于氮化硅材料在2300°以下進行高溫熱處理之用。
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型號 |
NTG-DZL-100KW |
NTG-DZL-160W |
NTG-DZL-270W |
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工作尺寸 (高*寬*長) |
mm |
300*300*600 |
400*400*800 |
500*500*1600 |
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加熱方式 |
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石墨桿籠式加熱 |
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高溫區容積 |
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54 |
128 |
400 |
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裝載量 |
g |
高溫區容積*產品密度(g/cm)*10003注:1L=1000cm3; |
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輸入電壓 |
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380V±10%，50HZ/60HZ 三相五線 |
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爐型結構 |
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臥式 |
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電源功率 |
HZ |
100 |
160 |
270 |
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最高使用溫度 |
℃ |
2300 |
2300 |
2300 |
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常用工作溫度 |
℃ |
2200 |
2200 |
2200 |
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真空度 |
Pa |
6.6X10-4 |
6.6X10-4 |
6.6X10-4 |
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溫度均勻性 |
℃ |
±5 |
±5 |
±5 |
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工作環境 |
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真空Ar/N2氣氛環境(微正壓) |
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