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碳化硅粉燒結(jié)爐：是用于碳化硅粉末成型體致密化燒結(jié)的核心設備，通過精確控制超高溫環(huán)境，實現(xiàn)SiC陶瓷的無壓燒結(jié)（PLS）、熱壓燒結(jié)（HP）或反應燒結(jié)（RBSC），制備高硬度、高導熱的碳化硅陶瓷部件，廣泛應用于半導體、航空航天、新能源等領域。
參數(shù)指標
參數(shù)指標
單位/型號
實驗型
生產(chǎn)型
NTG-SJL-120W
NTG-SJL-160W
NTG-SJL-220W
NTG-SJL-300W
NTG-SJL-600W
NTG-SJL-700W
有效尺寸
mm
300×300×600
400×400×800
500×500×1200
600×600×1600
680×680×2800
680×680×3500
加熱方式
/
中頻感應（IGBT）
高溫區(qū)容積
L
54
128
300
576
1295
1618
裝載量
g
裝料區(qū)容積*產(chǎn)品密度（裝料容積可根據(jù)用戶需求定制）
功 率
KW
120
160
220
300
600
700
極限真空度
pa
冷態(tài) 5pa(真空度可根據(jù)客戶需求定制)
工作溫度
℃
2400
2400
2400
2400
2400
2400
最高溫度
℃
2500
2500
2500
2500
2500
2500
恒溫區(qū)溫差
℃
±5℃
±5℃
±7℃
±7℃
±10℃
±10℃
爐內(nèi)工作環(huán)境
/
真空狀態(tài)或Ar.N2氣氛保護（微正壓）
可定制更大尺寸
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