該氣相沉積設(shè)備主要用于關(guān)鍵器件表面涂層的制備，而溫度是影響氣相沉積涂層質(zhì)量的關(guān)鍵參數(shù)，目前常規(guī)氣相沉積設(shè)備的使用溫度最高只有2000℃，本項(xiàng)目開發(fā)的氣相沉積設(shè)備使用溫度可達(dá)到2500℃，將會大大改善氣相沉積涂層的質(zhì)量，從而實(shí)現(xiàn)器件性能的提升。
可達(dá)到如下性能：
（1）沉積室溫度：最高2600℃，2500℃下可持續(xù)工作1小時以上，升降溫速率1℃/min可控，200~3000℃可測；
（2）沉積室壓力：300~3000Pa穩(wěn)定可控；
（3）沉積室尺寸：直徑300mm，高600mm；
（4）氣體種類：Ar、N2、CH4/C3H8，要求流量可控，下進(jìn)上出；
（5）物料下進(jìn)下出，裝卸方便；
（6）報警保護(hù)：缺水、短路、過流、過壓報警保護(hù)；
（7）環(huán)保要求：配有氣體過濾系統(tǒng)，最終排出尾氣達(dá)到國家環(huán)保要求。
