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氧化亞硅氣相收集爐,硅負(fù)極氣相收集爐,一氧化硅氣相收集爐為臥式中開門高真空感應(yīng)爐，高溫區(qū)加熱，低溫區(qū)氣相沉積收集，應(yīng)用于氧化亞硅等材料的高溫制備及收集。
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型號(hào) |
額定功率Kw |
爐膛尺寸mm*mm |
收集區(qū)容積L |
最高溫度℃ |
腔體數(shù) |
控溫精度 |
極限真空度 |
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NTG-CJL-40W |
40 |
Φ400*500 |
31.4 |
左邊1400、右邊1100 |
2 |
±1℃ |
10-3 |
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NTG-CJL-60W |
60 |
Φ500*1050 |
103 |
左邊1400、右邊1100 |
2 |
±1℃ |
10-3 |
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NTG-CJL-120W |
120 |
Φ600*2000 |
282.6 |
左邊1400、右邊1100 |
2 |
±1℃ |
10-3 |
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