該氣相沉積設備主要用于關鍵器件表面涂層的制備，而溫度是影響氣相沉積涂層質量的關鍵參數，目前常規氣相沉積設備的使用溫度最高只有2000℃，本項目開發的氣相沉積設備使用溫度可達到2500℃，將會大大改善氣相沉積涂層的質量，從而實現器件性能的提升。
可達到如下性能：
（1）沉積室溫度：最高2600℃，2500℃下可持續工作1小時以上，升降溫速率1℃/min可控，200~3000℃可測；
（2）沉積室壓力：300~3000Pa穩定可控；
（3）沉積室尺寸：直徑300mm，高600mm；
（4）氣體種類：Ar、N2、CH4/C3H8，要求流量可控，下進上出；
（5）物料下進下出，裝卸方便；
（6）報警保護：缺水、短路、過流、過壓報警保護；
（7）環保要求：配有氣體過濾系統，最終排出尾氣達到國家環保要求。
